层式退火结晶炉
采用自研加热系统和控温方式，提高钙钛矿材料结晶时受热均匀性，保证钙钛矿材料快速退火结晶的一致性
选件：
钙钛矿、层式退火结晶独立控温快速冷却超洁净工业计算机触摸屏
产品特点
用于成膜后的退火结晶工艺，设备由进出料传送段、机械手取放料装置、炉体、预热区、高温区、冷却区、取放片装置、进排气装置、传动组件、电控系统等组成。每层加热、冷却时间独立可调；
炉体内部的洁净度可达百级，炉内采用模组机械手X、Y、Z搬送，传送滚轮采用UPE防静电材料制作，不刮伤产品底面；
搭载智能控制软件系统，温控精度高，动作快速精准、升温速率可控、基板表面温度均匀、溶剂挥发充分。
产品详情
| 系列 | 处理产品规格 | 进料方向 | 最高温度 | 退火生产节拍 | 控制区域 | 气氛 |
| HXL | 300×300mm-2400×1600mm | 长边进料 | 200℃ | ≥30秒/PCS | 预热区、高温区、冷却区 | Air/真空 |
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